关于PECVD镀膜的一个疑惑！！！！

huafei920 · *发表于* 2006-1-26 10:07:00

在镀膜过程中发现膜的折射率有些偏低，将传送速度增加后，膜的厚度减小，而折射率却增加了。请问，将速度增加，膜厚减小是正常的，但折射率为什么会增加呢？？？？

huweiqian · *发表于* 2006-2-16 21:59:00

是卷绕镀膜设备啊？用于做什么产品？还第一次听说．

leidiygs · *发表于* 2006-2-17 19:40:00

是不是离子的浓度或是能量发生变化了。一般折射率变化是膜层的结构产生变化了

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