氧化膜膜厚该如何测量？

我在扩散后的硅片上生长一层氧化层，我想测量该氧化层的厚度，请问如何测量？

用椭偏仪测。 1769400@163.com

椭偏仪能测量的最小厚度是多少？

如果是无吸收介质膜，我不知道可不可以用软件对光谱进行模拟计算！

香港城市大学深圳研发中心    材料微观分析与性能测试专业服务

您好！！这里是香港城市大学深圳研发中心。依靠香港城市大学材料系和物理系雄厚的科研实力，旨在推动大学科研机构与内地工业厂商之间的交流与合作。目前我们拥有材料性能测试，微观结构分析，微量元素检测以及表面处理与膜层分析，塑胶材料分析方面庞大的实验室和专业的科研实验人员，能完成对模具行业 ，金属加工行业 ，真空镀膜行业，光电子行业，光学薄膜,半导体行业等行业的检测项目，并提供实验开发合作。欢迎联系！。
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M2CTS (Materials Micro-analytical Characterization and Testing Service Laboratory) 是香港城市大学物理与材料科学系下属的科研试验机构。专门从事材料微观测试与性能分析（包括无机材料，有机高分子材料，金属材料，光学材料）以及表面镀膜（PVD,CVD，PIII 等离子注入）。以及其它各种物理和化学性能测试。