请教一下关于膜层表面点子的问题?

流明 · *发表于* 2003-5-30 19:50:00

近日,我在做一个表面要求是一级的滤色片,不管用离子辅助,还是加高温,表面都有数量较多的细点子,烦请同事,指点.[DISABLELBCODE]

ic5 · *发表于* 2003-5-30 19:56:00

真空室洁净吗（很大可能）？膜料有放气现象吗？

流明 · *发表于* 2003-5-30 22:21:00

真空室是比较干净的，膜料在预熔时，有一定的放气现象，但在蒸镀过程中，放气是很少的。

ic5 · *发表于* 2003-5-31 00:19:00

什么设备？真空室里的每个角落都要注意！特别在蒸发源附近，好好考虑一下！

流明 · *发表于* 2003-6-1 21:39:00

非常感谢IC5的指导，我会在这方面注意的。

hgw2001 · *发表于* 2003-7-1 18:59:00

不知道你镀的层数多不多。如果超过25层的话极有可能出现这样的问题。这可能有几个方面的原因。一是离子源功率过大。二是你的电子枪扫描不好，你是电子枪功率是如何控制的。是恒功率，还是由机子自已调制的。三加热温不要过高，温度过高也会引起麻点。

feiyang · *发表于* 2003-7-13 03:53:00

同意楼上朋友的话，另外，与机器和室内的洁净程度有很大关系，如果，零件表面活性不够也会增加点子！

isfm · *发表于* 2003-7-13 05:27:00

最大的问题，可能是膜料放气引起的喷溅。加强预熔，适当降低蒸发速率是有意义的。还可以试试离子后处理抛光

rmchen · *发表于* 2004-3-31 06:55:00

有意义的帖子，顶一下。

fulong927 · *发表于* 2004-3-31 18:43:00

为什么零件表面活性不够也会增加点。多谢指教

isfm · *发表于* 2004-6-18 02:29:00

玻璃表面静电的存在是不是导致点子产生的主要原因？

zz · *发表于* 2004-6-18 05:01:00

楼上的,那会产生细点吗?

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