能否制作精度为0.0001mm的光栅

南山王 · *发表于* 2004-8-31 01:51:00

镀制的反射式光栅，膜层介质：金属反射膜或介质反射膜

光栅面积310mmX240mm，狭缝宽度0.02，狭缝间距的精度为0.0001mm。

zz · *发表于* 2004-8-31 17:52:00

镀后光刻？

xyqy · *发表于* 2004-8-31 18:04:00

一般而言，要做到0.1微米的精度，还是有一定难度的。

南山王 · *发表于* 2004-8-31 19:44:00

可以是镀后光刻、也可以是其他任何加工方式，只要能满足要求，就行。

bignet · *发表于* 2004-9-15 20:29:00

找Spectra Physics问一下看

*发表于* 2009-3-5 13:48:01

只有光刻啦，蚀刻好像没有那么高精度吧？

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