日本东北大学的MEMS用试制Coin Laundry将在10月正式启用

日本东北大学的微系统融合研究开发中心2010年4月开设的MEMS（Micro Electro Mechanical Systems）“试制Coin Laundry”，从目前半导体制造装置的维护状态来看，预计可在今年10月前后正式启动。这一消息是东北大学原子分子材料科学高等研究机构的江刺正喜教授在7月28日举行的“东北大学—产综研联合公开演讲会”上公布的。

试制的Coin Laundry是一个以合理的费用向企业等开放以MEMS用途为中心的半导体试制装置和试产线，向众多企业提供MEMS试制设备群。在半导体企业中，有一些企业虽然拥有MEMS试制技术，但是没有高价位的生产工艺装置，因此不得不委托外部试制。此次试制的Coin Laundry将向此类企业提供可以自己试制MEMS的场所。另外江刺教授还介绍说，“即使自己目前没有设备，也可以确保培养自己的MEMS设计及制造技术人员的机会”。

此次Coin Laundry将实行不从企业接受委托研究的方针。原因是此次的Coin Laundry是一个用来让用户企业提高自己的设计及制造技术的场所。江刺教授介绍说，通过完善此次的MEMS试制Coin Laundry，“将可以大幅降低MEMS的开发风险和成本”。据江刺教授介绍，由于可以有效利用东北大学等拥有的MEMS试制经验等，因此能够运用降低开发风险的具体措施。

当不具备MEMS设计及制造技术的企业希望进行MEMS试制时，还有另一个选择：即由东北大学创建的风险企业——MEMS CORE公司（仙台市）接受委托开发。该公司是微系统融合研究开发中心的赞助企业之一。

原财团法人半导体研究振兴会（2008年3月解散）将大楼和半导体生产线等捐赠给了东北大学，后作为西泽润一纪念研究中心重新启用，该试制Coin Laundry就设在大楼二层的洁净室（1800平米）内。Coin Laundry将用来放置约1000平米的半导体制造装置和4/6英寸的半导体试产线。虽然试生产线拥有晶圆清洗、光刻、成膜、蚀刻以及测量工序等主要装置，但是由于曾有一段时间未启动的缘故，因此目前正在检测与维护装置以便重新启用。

江刺教授是从今年开始实施的日本文部科学省最尖端研究支援项目“微系统融合研究开发”的核心研究成员，因此该试制Coin Laundry“将隶属于最尖端研究支援项目”。Coin Laundry的运营负责人由微系统融合研究开发中心的户津健太郎准教授担任。（特约撰稿人：丸山 正明）