MEMS历史回顾

1947年，科学家率先发明半导体晶体管。

1959年，诺贝尔物理学奖获得者Feynman教授发表著名的MEMS预言演讲‘There is plenty of room at the bottom’。

1964年，Nathenson研制出第一个批量生产的MEMS设备resonant gate transistor。

1984年，美国加州大学伯克利分校Howe 和Muller利用IC工艺开发出多晶硅表面微加工技术，此技术被誉为MEMS加工技术的前奏。

1987年，美国加州大学伯克利分校研制出首台静电微电机，标志着MEMS时代的来临。