超光滑表面粗糙度的測量？

gzc423 · *发表于* 2003-4-15 17:49:00

超光滑表面制造出來後其表面粗糙度如何測量？

xyqy · *发表于* 2003-4-15 19:36:00

干涉显微镜或非接触台阶仪可以

老驴 · *发表于* 2003-4-16 05:39:00

我只记得有接触和非接触两大类

gzc423 · *发表于* 2003-4-16 23:58:00

nm米級的呀！

ic5 · *发表于* 2003-4-17 00:52:00

上海光机所有这样的测量设备，具体名称不详！你可以去看看！我在那里测过，可惜不让进去看！

mahubble · *发表于* 2003-4-17 05:42:00

听说共焦扫描显微镜的深度分辨率很高，不知能否用于此处。

gzc423 · *发表于* 2003-4-18 15:57:00

我想找光学手册啊！有的话言一声，先谢啦！gzchung@neoptic.com.cn

mincailiu · *发表于* 2003-4-18 20:49:00

表面粗糙度测量我这里就有仪器测量，WYKO表面轮廓仪（非接触式测量，有4中取样面积），测量精度号称0.1nm,实践中可以保证0.3nm的精度。

lzk · *发表于* 2003-4-18 23:45:00

zygo公司的newvewl 5000可以测量。我测过几次。

老驴 · *发表于* 2003-4-20 23:55:00

接触式测量仪有英国泰勒.霍普森公司制造的TALYSTEP,FORMTALYSURF和英国国家物理实验室研制的Nanosurf 2型表面粗糙度测量仪
非接触式测量有干涉法(仪器有美国WYKO公司的TOPO-3D,美国ZYGO公司的MAXIN.3D和ZYGO5500等),临界角法,用扫描隧道显微镜(STM)测量

好牛 · *发表于* 2003-11-5 20:35:00

ZYGO NewView 5000
测样品的话,复旦大学有.
买的话,www.lamdapacific.com

hai-tan · *发表于* 2003-11-17 06:17:00

采用白光干涉扫描可以测量，美国ZYGO和WYCO都有类似产品，测量精度可达到0.1nm，浙江大学光电系有类似产品。

超光滑表面粗糙度的測量？

回复|共 16 个