有关镀膜均匀性的讨论

vietti · *发表于* 2004-3-22 18:49:00

不同的镀膜机，不同的镀膜原理，不同的镀膜工艺，所能达到的镀膜均匀性都不同。
镀膜我们都希望均匀性好，可怎样算好？没有一个明确的概念。希望各位能够通过
具体例子量化一下，来表明何种程度才算均匀性较好。
比如镀光学高反增透膜，单层材料（如TiO2，SiO2,Al2O3等)控制膜厚为2000A，
实际测量表面上不同位置的厚度大概在±多少A时算均匀性比较好？

yh15430 · *发表于* 2004-3-22 21:18:00

高反增透膜是什么基本概念？！

zz · *发表于* 2004-3-22 22:12:00

The 1% uniformity is OK.

likeoe · *发表于* 2004-3-24 08:56:00

一种是光学厚度均匀性，是综合了折射率均匀性和厚度均匀性，在一般情况下认为折射率分布是均匀的，就把光学厚度均匀性当成物理厚度均匀性，这种情况一般从光谱极值位置偏差计算相应的均匀性，另一种是物理厚度均匀性，通过计算物理厚度的偏差得到的。
这里对第一种情况说一下，如果对高反膜，衡量的参量应该是反射率，ΔR/R≈ΔR,如果衡量透过率，那就大了，对于增透膜，衡量的参量应该是透过率，即ΔT/T
一般激光系统，1%的均匀性是能接受的，可能对波前畸变要求高的场合，要求均匀性更好一点，实际上经验表明，不均匀性也是导致波前畸变的一个重要原因。