EPD 怎麼算才合理

我司買了一批晶棒,取9點測EPD,點的區域大小是0.4mmx0.3mm,算出來的EPD 2000,供應商不讓我退,要求我用大一點面積去算, 我改用1mmx0.7mm 算出來是EPD1200,供應商還是不讓我退, 說還要再大一點的面積.  他的說法合理嗎? 多大面積才合理啊!

另外, 我在試片上看到一些線條,我們懷疑是差排線, 供應商說是刮痕.他說,如果是差排線,線的粗細和蝕刻坑(pits)大小差不多,且線上多少會有明顯的蝕刻坑.這些線粗細只有蝕刻坑的一半, 且無明顯的三角形坑洞,故不是差排線,是括痕, 合理嗎?

EPD 2000的棒子质量太差了，是不是STC的棒子

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有沒有人可以說明 EPD 怎麼測的嗎?

我司測試面積約在4.4mm^2，測試數量為5點，
你應該問對方測試面積約在多大範圍?
你測試的9點位置是否固定?
片數是否為單一片?還是多片量測?
應避免人為判定的介入，
測試的位置應固定，
蝕刻坑應不是圴勻的，
所以如果放大倍率太大，
又只找有蝕刻坑的位置進行計算，
當然計算出來的數值就很大了，
所以應固定要量測的位置，
而不是找附近有蝕刻坑的位置進行計算，
這樣量測出來的EPD值相對客觀。

tsaibabala 发表于 2011-8-17 10:55
我司測試面積約在4.4mm^2，測試數量為5點，
你應該問對方測試面積約在多大範圍?
你測試的9點位置是否固定 ...

謝謝大師回覆
我們倍率沒那麼小的,他們要求用直徑2mm看,
以前我們用0.12mm^2看,現在改0.8mm^2看,還不夠大嗎?
廠商建議我一點取4張,相當於直徑2mm

同一ingot, 測了5片, 分別是350, 600, 700, 800,1200,
其中一片高於1000.

請問  差排線和刮痕 怎麼分?
有那位大師可以幫忙解惑嗎?

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請問  差排線和刮痕 怎麼分?
有那位大師可以幫忙解惑嗎?

幾年前，我驗過幾家的EPD, 各約20片，驗9點，每點面積4mm^2
Rubicon,Monocrystal,STC,CrystalSystem,Kyocera
Kyocera 的EPD 約4000~6000
其他幾家200~2000都有，少數幾家有1片高於2000，但整體平均低於1000
Mono 整體而言較佳，
STC怪怪的，他的棒子是白色的。
Kyocera的片子EPD4000~6000,沒有人說Kyocera的片子不好。
最近同人電子網站 EPD 規格是<2000。
日亞化的專利，在藍寶石上先鍍一層薄薄的非晶質GaN,再鍍一層GaN,
GaN並不是直接長在藍寶石上，而是長在非晶質的GaN上，
藍寶石的EPD會影響GaN的磊晶生長嗎?  

我计算的0.8mm2的个数也就700--800