IRcut镀出来呈浅黄色

fasces9 · *发表于* 2011-7-15 17:26:26

本帖最后由 fasces9 于 2011-7-30 08:47 编辑

颜色对比.rar (1.48 MB, 下载次数: 35)

我司用3台光驰机 GENER-1300 做IRcut 镀出来的产品呈淡黄色，严重是偏红色，有时好有时差，抓狂中。
试过很多方法了，氧气加了10sccm没有效果，光斑调整（担心打到铜上溅射上去）也没效果，温度250降到240和225也没效果（而且变得更糟糕），总体来说一段时间好一段时间颜色不正常。那位大侠有办法解决？期待中
目前测试：OS50氧气流量增加，颜色稍微变淡，OS50氧气流量减少，颜色变得更红。
      温度增加10度，产品颜色变淡了，温度降低，产品颜色变得更红。
      更换OS50底料，无明显效果。更换SIO2（不同材质），也无明显效果。更换OS50（不同材质），也无明显效果。
      调整SiO2光斑使之变大，5圈颜色变淡，与第1圈接近，但还都是很红。

filmokay · *发表于* 2011-7-16 15:27:28

光谱正常吗？是污渍还是光谱偏移了啊

fasces9 · *发表于* 2011-7-18 15:55:55

光谱正常，可以确定不是污渍

fasces9 · *发表于* 2011-7-18 15:57:12

filmokay 发表于 2011-7-16 15:27
光谱正常吗？是污渍还是光谱偏移了啊

光谱正常，可以确定不是污渍，试着镀过不同中心波长的IRcut 也不是曲线漂移的问题。

carpty · *发表于* 2011-7-18 22:31:15

更换一下tio2的膜料试试，坩埚里面全部换新的

fasces9 · *发表于* 2011-7-21 08:04:48

carpty 发表于 2011-7-18 22:31
更换一下tio2的膜料试试，坩埚里面全部换新的

坩埚试过更换新的tio2膜料，结果还是不行，SiO2和Tio2换别的公司试了下也是不行，温度调高10度，结果是好一点，但是膜划百格很脆，盐水试验后容易脱膜。

sery1234 · *发表于* 2011-7-21 09:04:32

略略问下，你做的什么波段的IR-CUT，

fasces9 · *发表于* 2011-7-23 08:50:18

sery1234 发表于 2011-7-21 09:04
略略问下，你做的什么波段的IR-CUT，

IRcut650

wazxq · *发表于* 2011-7-23 10:16:31

贴出发黄的光谱看看?

sery1234 · *发表于* 2011-7-23 10:32:37

如果发黄的话，你的透过区的光谱可能有问题啊

sery1234 · *发表于* 2011-7-23 10:34:06

400-700这段透过率可能有半波孔吧，

sery1234 · *发表于* 2011-7-23 10:34:46

正常看起来产品应该是泛红而不是泛黄啊

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