溅射卷绕式镀膜机的TOOLING怎么提取

ghtzna · *发表于* 2013-7-1 07:37:59

最近操作溅射卷绕镀膜机，镀AL2O3，速率很慢，来回镀了七次，膜厚才75nm,材料折射率怎么也抓不出来。之前没有操作过此类机器，希望大侠指导哈

csgt0 · *发表于* 2013-7-1 09:28:39

反应溅射是很慢

ghtzna · *发表于* 2013-7-1 10:34:06

csgt0 发表于 2013-7-1 09:28
反应溅射是很慢

镀个几十纳米就把人搞死了

ghtzna · *发表于* 2013-7-4 10:42:55

沉了

crl0129 · *发表于* 2014-1-2 13:59:27

lsx2121 · *发表于* 2014-2-10 14:37:25

做Al2O3 沉积速率确实比较慢，若是设备有预算，可以安装一台反应溅射等离子监控系统，提高反应速率和调节工艺。

ghtzna · *发表于* 2014-2-13 11:56:52

lsx2121 发表于 2014-2-10 14:37
做Al2O3 沉积速率确实比较慢，若是设备有预算，可以安装一台反应溅射等离子监控系统，提高反应速率和调节 ...

需要多少银子

lisx2525 · *发表于* 2015-6-1 01:55:27

反应溅射等离子监控系统看你溅射阴极的尺寸，详细的技术，可联系lisx25252163.com 沟通。谢谢

[技术] 溅射卷绕式镀膜机的TOOLING怎么提取