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光电工程师社区»光电论坛 › 光电理论及应用技术 › 光学镀膜技术及膜系设计 › 求plasma书

求plasma书

2.7k 3
发表于 2008-1-4 12:32:35|江苏 | 查看全部 阅读模式
各位大下，有人有关于plasma方面的书籍么？
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XIANL Lv.8 发表于 2008-1-4 14:58:33|广东 | 查看全部
什么是plasma,哪方面的\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\\
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shaodong1311 Lv.8 发表于 2008-1-4 16:25:41|广东 | 查看全部
plasma是不是离子源啊,要是的话,是要看你要的是哪里种离子源了。有IBS源,还有APS源.
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libor 楼主Lv.8 发表于 2008-1-5 17:42:46|江苏 | 查看全部
RF电源产生的plasma。。。。。。。。。。。。
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