光控测反射率时控制波长的选择

 火...
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发表于 2007-9-14 09:25:14|广西 | 查看全部 阅读模式
现在我想镀一个多层增透膜,中心波长为550nm,采用M2HL的结构,M为氧化铝,H为氧化锆,L为氟化镁。用光控(测反射率)的方法控制膜厚。现在我就搞不懂监控波长该怎样选择。我的理解是这样:镀膜中控制的是nd值,也就是针对这个膜系来说,M的厚度为137.5nm(四分之一的中心波长),H的厚度为275mm,L的厚度为137.5nm。当控制波长选用中心波长时(550nm),这三层膜的厚度分别为走一个极值、走两个极值、走一个极值。如果用275nm的波长来控制时,则别变成走两个极值、走四个极值、走两个极值。这样的理解对吗?是否可以用这样一个公式计算:如果结构为xMyHzL,当设计波长为a时,监控波长分别选择为xa、ya、za,这时都只走一个极值。当不是垂入射时,将xa、ya、za分别除以该材料中的入射角的余弦值即可。不知我这样的理解是否正确,希望得到各位高手的指点。

回复|共 7 个

候鸟 楼主Lv.10 发表于 2007-9-17 10:52:32|广西 | 查看全部
结果不一样的原因是不是因为有挡板及基片与监控片的位置不同呢?
niechunyang Lv.8 发表于 2007-9-21 08:27:27|广东 | 查看全部
不能那样选的,要在可见光400-800选好,这与计算不多大关系,厚度是一样的用不同的波长
shaodong1311 Lv.8 发表于 2007-9-21 22:15:39|广东 | 查看全部
波长最好在400--1100nm,没有极值也可以啊!
你用的是什么机器啊?
marcsle Lv.9 发表于 2007-9-22 14:14:09|四川 | 查看全部
要看你的单色器或是光电倍增管的波长范围的,不可能是你要什么波长就用什么波长控制,可以用短波控制长波,也可以用长波控制短波的,如我镀制λ=520NM AR,用560的波长控制的,也有用450的波长控制的,关键还要看设备情况及工艺设计。
XIANL Lv.8 发表于 2007-9-28 10:51:48|广东 | 查看全部
度那种增透膜,看着颜色镀就可以了嘛
a99533126 Lv.10 发表于 2011-6-14 09:26:28|广东 | 查看全部
学习学习
yong0009 Lv.8 发表于 2011-6-14 16:12:16|广东 | 查看全部

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