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光电工程师社区»光电论坛 › 光电理论及应用技术 › 光学镀膜技术及膜系设计 › VEECO机Al靶的工艺参数

VEECO机Al靶的工艺参数

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发表于 2008-8-12 08:40:07|上海 | 查看全部 阅读模式
哪位同仁有VEECO机的Al和Ti的工艺参数？
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回复|共 4 个

ferry Lv.8 发表于 2008-8-26 16:47:01|北京 | 查看全部
楼上的朋友,你们用的是VEECO的机器吗?是不是spector(IBD)离子束溅射系统啊.怎么联系.
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cuijingbo 楼主Lv.4 发表于 2008-8-26 20:40:54|上海 | 查看全部

是离子束溅射系统

是离子束溅射系统,您用过么?
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ferry Lv.8 发表于 2008-8-27 18:12:17|北京 | 查看全部
想用这个系统做个AL2O3膜,不知兄弟是哪个单位,能联系下吗?
ferrylei@126.com
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nation Lv.8 发表于 2008-8-27 21:56:10|广东 | 查看全部
要自己找，自己去摸才可/。
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