超难度, 请高人指教关于Surface Accuracy...

dodgygeezer · *发表于* 2009-10-30 16:13:38

1. Mirror: Surface Accuracy 1/10 λ @ 632.8nm ,
2. Mirror: Wavefront error <  λ /15 rms@1.315 μm for aberration < Zernike poly 15
请问1/10 和 1/15 在这里是什么意思? 如果能告知原理, 更是感激不尽. Zernike Poly是波前误差的什么多项式, 那么15指什么? 如果能简明告知原理, 感激涕零.

我已经被surface form, accuracy, figure, flatness, fringe, irregularity..... 完全
搞晕了. 似乎整个工厂都没人懂, 不过zygo上面好像有这些数据, 晕啊, 到底哪个是哪个啊.

请高人指点.

polyubi · *发表于* 2009-11-2 16:52:13

第一条是flatness, 这里是2个光圈（fringes）
第二条是波前畸变，最高点和最低点的均方根rms,是小于0.13个光圈

polyubi · *发表于* 2009-11-2 16:53:18

这些都是干涉仪上的读数

wjf990 · *发表于* 2009-11-5 16:39:05

1.镜面：表面精度—λ/10，632.8nm—检测波长
2.镜面：波前误差小于λ/15，取检测波长1315nm处RMS均方根数据——该数据应为干涉仪分析软件获得，泽尼克系数大体是反映像差失真方面的数据，再多我也不太清楚了
总的觉得这样的要求对球面加工起来够呛，一道圈大约是λ/2，λ/10大约不规则N=0.2，平面问题不大，球面的话，可能要考虑古典加工了

ds1234567 · *发表于* 2009-11-6 16:41:36

Zernike polynominls 泽尼克多项式，在zygo中可选该项，显示36项结果，数学表达式一般是48项，0-7项对应初级像差，8项后对应高级像差。第15项代表5级像差和离焦，这个离焦量来自波面误差造成的光程差。测量提出者是想把泽尼克多项式与像差分析的赛德尔多项式进行对比分析，这需要你测量时打印出泽尼克多项式36项的结果。光圈的不规则控制好RMS就下降一般RMS值是pv值的1/6。