今天先来讨论第一种长晶方法----提拉法吧。
提拉法也叫柴氏拉晶法,简称CZ法,玩硅单晶炉的朋友对这个一定特别熟悉了。
提拉法单晶炉的基本结构包括放原料的铱金坩埚,坩埚外面是锆砂等保温部份,再外面是石英套之类的结构件,石英件外面是感应加热器,坩埚上部有晶棒上拉后的保温结构,再上部有籽晶上升及旋转机构。工作时利用感应加热器直接对铱金坩埚加热,坩埚对原料加热,原料熔化后液面温度稳定并合适后,籽晶端面下降到液面以下,一边提拉一边旋转开始引晶,通过引晶、放肩、等径、收尾等步骤,完成整个工艺过程。
CZ法直接沿C轴生长,如果工艺调得好的话,可生产高品质大尺寸的单晶,目前也有很多厂家在用这种长晶法。缺点是生产成本较高,将来产业化前景受限制。
CZ法目前国内有哪些长晶厂家在用?
全世界有哪些生产CZ长晶炉的厂家,各家技术情况如何?价格情况如何?有哪些规格的生长炉?最大的生长炉是哪家?最大生长炉的产能情况?
CZ法目前的发展方向?需要解决哪些课题?
CZ法的生产成本具体是多少?
CZ法工艺有哪些技术难点?
以上大家一起来讨论吧? |