[求助]根据反射和透射曲线,有什么软件可以反推折射率和厚度??

回复|共 26 个

kuan Lv.6 发表于 2004-6-23 07:31:00|台湾 | 查看全部

我也編了一個

可利用likeo的方式

利用極值點多算出幾個N值(在不同波長下)

再用數值方法即可優化出材料的色散囉

laoman Lv.8 发表于 2004-6-23 16:57:00|河南 | 查看全部

这类方法受测量精度的影响仅有参考价值,精确测量需用椭偏仪。还有在线用的椭偏仪,更好用。

fengjg Lv.8 发表于 2004-6-23 20:41:00|欧洲 | 查看全部

我们也是用Likeoe这个方法的,不过材料实验的工艺参数要结合膜系设计固定下来,在用到种膜层材料时,要结合所做材料实验时的工艺参数,轻易不要改变工艺参数

eagle1 Lv.7 发表于 2004-6-26 05:53:00|新加坡 | 查看全部

我用这种方法得到的薄膜厚度与用椭偏仪测出来的结果总是小7,8%左右,如果椭偏仪的结果更准确的话,那就是说测试光谱蓝移.如果真是光谱蓝移,是不是由于材料的吸收引起的,还有就是吸收真会有这麽大的影响吗?

likeoe Lv.2 发表于 2004-6-26 12:15:00|美国 | 查看全部

我不认为椭偏仪就更准,因为椭偏仪对表层敏感,而表层的折射率与整个平均折射率是不同的,因此也不能全信椭偏仪的数据,但可参考。我认为最准的还是用台阶仪直接测,只要台阶做得好,数据准确度相对还高一点。

likeoe Lv.2 发表于 2004-6-26 12:23:00|美国 | 查看全部
以下是引用eagle1在2004-6-25 21:53:02的发言:

那就是说测试光谱蓝移.如果真是光谱蓝移,是不是由于材料的吸收引起的,还有就是吸收真会有这麽大的影响吗?

吸收会蓝移吗?我用TFCALC模拟,怎么是红移呢?

zz Lv.10 发表于 2004-6-26 19:28:00|广东 | 查看全部

我还是相信椭偏仪的,其测量精度比台阶仪低不到哪去,而且它还能计算折射率,而台阶只能测物理厚度。难道物理厚度测的准就能反映真实情况吗?

折射率取的不同,红移兰移都可能

hgw2001 Lv.8 发表于 2004-7-5 01:29:00|陕西 | 查看全部

精确的做法是有椭偏仪来测量。

d2ma Lv.8 发表于 2004-9-15 00:40:00|上海 | 查看全部
你的计算结果跟你的测量仪器的精度有关。可能你没有对测量曲线进行处理,才会导致得出的结果跟实验偏差较大
cjjiang Lv.8 发表于 2004-9-17 21:27:00|上海 | 查看全部

首先判断透过率曲线的级次,在脑中要明确的是,当膜的折射率大于基底时,所有的极小值都是奇数个四分之一膜厚,当膜的折射率小于基底时,所有的极大值都是奇数个四分之一膜厚,根据前面分析,这儿当然是极小值啦。如果没有折射率色散,相邻两个极值之间 的波长位置的比值应为k/(k+1), k=1,3,5,7....(设第一个极值位置波长为λ1,相邻的另一个极值位置波长为λ2,这里假设λ2的级次高于λ1,所以λ1>λ2,则kλ1/4=nd, (k+1)λ2/4=nd,两者比较后,就得出λ1/λ2=(k+1)/k )。我们来看891.0nm和1184nm这两个极值,1184/891=1.328, 所以判断k=3,于是根据kλ1/4=nd 有 d=kλ1/4n=3*1184/(4*1.91)=464.9nm。

我怎么感觉应该是λ1/λ2=(k+2)/k,极值点不是应该相差2嘛

likeoe Lv.2 发表于 2004-9-20 19:06:00|广东 | 查看全部

回:cjjiang

注意是两个相邻的极值点,不是相邻的极大值或极小值,这儿说的相邻极值点,一个是极大值,另一个心为极小值,反之亦然。

vacuum Lv.8 发表于 2004-9-21 17:25:00|台湾 | 查看全部

用 TFCALC 模擬再比對,這樣可能較快吧!

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