kuan

我也編了一個

可利用likeo的方式

利用極值點多算出幾個N值(在不同波長下)

再用數值方法即可優化出材料的色散囉

laoman

这类方法受测量精度的影响仅有参考价值，精确测量需用椭偏仪。还有在线用的椭偏仪，更好用。

fengjg

我们也是用Likeoe这个方法的,不过材料实验的工艺参数要结合膜系设计固定下来,在用到种膜层材料时,要结合所做材料实验时的工艺参数，轻易不要改变工艺参数

eagle1

我用这种方法得到的薄膜厚度与用椭偏仪测出来的结果总是小7,8%左右,如果椭偏仪的结果更准确的话,那就是说测试光谱蓝移.如果真是光谱蓝移,是不是由于材料的吸收引起的,还有就是吸收真会有这麽大的影响吗?

likeoe

我不认为椭偏仪就更准，因为椭偏仪对表层敏感，而表层的折射率与整个平均折射率是不同的，因此也不能全信椭偏仪的数据，但可参考。我认为最准的还是用台阶仪直接测，只要台阶做得好，数据准确度相对还高一点。

likeoe

以下是引用eagle1在2004-6-25 21:53:02的发言：

那就是说测试光谱蓝移.如果真是光谱蓝移,是不是由于材料的吸收引起的,还有就是吸收真会有这麽大的影响吗?

吸收会蓝移吗？我用TFCALC模拟，怎么是红移呢？

zz

我还是相信椭偏仪的，其测量精度比台阶仪低不到哪去，而且它还能计算折射率，而台阶只能测物理厚度。难道物理厚度测的准就能反映真实情况吗？

折射率取的不同，红移兰移都可能

hgw2001

精确的做法是有椭偏仪来测量。

d2ma

你的计算结果跟你的测量仪器的精度有关。可能你没有对测量曲线进行处理，才会导致得出的结果跟实验偏差较大

cjjiang

首先判断透过率曲线的级次，在脑中要明确的是，当膜的折射率大于基底时，所有的极小值都是奇数个四分之一膜厚，当膜的折射率小于基底时，所有的极大值都是奇数个四分之一膜厚，根据前面分析，这儿当然是极小值啦。如果没有折射率色散，相邻两个极值之间　的波长位置的比值应为k/(k+1), k=1,3,5,7....(设第一个极值位置波长为λ1,相邻的另一个极值位置波长为λ2，这里假设λ2的级次高于λ1,所以λ1＞λ2，则kλ1/4=nd, (k+1)λ2/4=nd,两者比较后，就得出λ1/λ2=(k+1)/k )。我们来看891.0nm和1184nm这两个极值，1184/891=1.328，　所以判断k=3，于是根据kλ1/4=nd　有　d=kλ1/4n=3*1184/(4*1.91)=464.9nm。

我怎么感觉应该是λ1/λ2=（k+2）/k，极值点不是应该相差2嘛

likeoe

回：cjjiang

注意是两个相邻的极值点，不是相邻的极大值或极小值，这儿说的相邻极值点，一个是极大值，另一个心为极小值，反之亦然。

vacuum

用 TFCALC 模擬再比對,這樣可能較快吧!