晶控之镀膜材料的密度问题

royyang · *发表于* 2012-6-1 23:49:02

学习

gxfdllg · *发表于* 2012-6-3 17:49:43

没有关系的啦，密度就是跟控制仪显示的厚度有关系啦，相差不要太大就可以了！

qs2784 · *发表于* 2012-6-21 21:33:32

MorningTech · *发表于* 2016-5-17 20:31:48

楼主细心。的确存在 360和 310及Inficon系的 SiO2密度和声阻抗参数略不同。
后两者可能采用的是晶体参数，比膜层中略大。从此来说，推荐用360参数。

但是，晶控仪中的Tooling 参数可以修正密度偏差。所以，用哪个密度值，对晶控仪来说都问题不大。

yifeng602 · *发表于* 2017-4-8 22:32:42

楼主都不说明什么类容估计没人买
如果只是说明书之类的话百度文库都有很多

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