[原创] 关于tooling与TFC中group的方法、

 火...

回复|共 36 个

xiaohuilee 楼主Lv.2 发表于 2014-4-15 16:48:38|北京 | 查看全部
MorningTech 发表于 2014-4-14 21:29
tooling变化大吗?

挺大的   不过我也没有弄懂为什么  我用tooling都是固定的,设计/实际 呵呵
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MorningTech Lv.8 发表于 2014-4-15 22:18:55|上海 | 查看全部
xiaohuilee 发表于 2014-4-15 16:48
挺大的   不过我也没有弄懂为什么  我用tooling都是固定的,设计/实际 呵呵

大家平常是将Tooling设为100%,直接改设计厚度。还是设计厚度不变,改Tooling?
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tfc Lv.9 发表于 2014-4-17 16:27:16|广东 | 查看全部
lee,你就谈你的好了,其他别说远了吧。。。
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MorningTech Lv.8 发表于 2014-4-17 18:01:22|上海 | 查看全部
tfc 发表于 2014-4-17 16:27
lee,你就谈你的好了,其他别说远了吧。。。

fan总出来扶楼了,呵呵。
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xiaohuilee 楼主Lv.2 发表于 2014-4-17 19:06:05|北京 | 查看全部
tfc 发表于 2014-4-17 16:27
lee,你就谈你的好了,其他别说远了吧。。。

呵呵  我跑题了  范工 好久不见啊
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tfc Lv.9 发表于 2014-4-18 14:17:55|广东 | 查看全部
xiaohuilee 发表于 2014-4-17 19:06
呵呵  我跑题了  范工 好久不见啊

嗯,现在不大上网,现在好吧
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tfc Lv.9 发表于 2014-4-18 14:19:53|广东 | 查看全部
MorningTech 发表于 2014-4-17 18:01
fan总出来扶楼了,呵呵。

别这样说,我也没有总坐在家啊
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xiaohuilee 楼主Lv.2 发表于 2014-4-18 15:44:41|北京 | 查看全部
tfc 发表于 2014-4-18 14:17
嗯,现在不大上网,现在好吧

现在还行  我说怎么好久都没有看到您来了 还要多向您学习呢
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rollo_tomasi Lv.8 发表于 2014-4-18 16:56:24|江苏 | 查看全部
MorningTech 发表于 2014-4-15 22:18
大家平常是将Tooling设为100%,直接改设计厚度。还是设计厚度不变,改Tooling?

这个,看个人习惯吧,也看实际情况咯!
比如说,你的机器用TiO2和SiO2镀400-1500nm之间的各种带宽的不同膜系,你肯定会设定很多程序,但是材料也许就一个材料名字下的各项参数(充氧量、电子枪功率等)已固定,当然是采用固定Tooling,然后更改每个膜系的镀膜厚度要方便,这样,只需要选择程序就OK;否则每镀一个膜系,就要更改一次TiO2的Tooling值,岂不是很麻烦。或者你建很多不同名字的TiO2材料,对应不同的Tooling值。以上两种,那个方便,自己选择吧!
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宇宙深处 Lv.8 发表于 2014-4-18 18:38:04|福建 | 查看全部
xiaohuilee 发表于 2014-4-13 19:53
其实每个人的使用方法都不一样的。我见过一个竟然每层的tooling都不一样。不可思议吧。

这应该是对的。每一层都在不同真空度下(或者不同氧压下)成膜,折射率会有些差异的。而设计值是设定参数下得出的。只是其误差很小,一般膜系设计不会考虑。
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MorningTech Lv.8 发表于 2014-4-19 16:13:02|上海 | 查看全部
宇宙深处 发表于 2014-4-18 18:38
这应该是对的。每一层都在不同真空度下(或者不同氧压下)成膜,折射率会有些差异的。而设计值是设定参数 ...

同意每层都在变的说法。
但是 要在设计时就能弄清楚每层会变化 多少,不是一般的难,更像是 事后 摸索出来的。

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獨抹①丗仺涼 Lv.7 发表于 2014-4-24 11:09:53|山东 | 查看全部
我不知道怎么计算  知道实际除以理论但是怎么看怎么算妹妹个师傅教我
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