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qxb2008 发表于 2014-2-28 09:48 tooling值后期都是要从设计值到膜厚控制仪的,一般都是tooling=实际厚度/设计厚度。这样方便后期使用。
xiaohuilee 发表于 2014-4-13 19:53 其实每个人的使用方法都不一样的。我见过一个竟然每层的tooling都不一样。不可思议吧。
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