关于镀膜灰尘点的问题求大神解答

很久没有遇到这么头痛的问题点了   关于机器灰尘点的问题  首先确定不是工艺的问题  做单层确定没有问题  机器所有的地方 都完全清理 并且用酒精擦拭一遍  在伞的第三四圈有灰尘点 尤其第四圈很严重 且灰尘点都出现在套环边缘

机器在40分钟左右进入5.5-4pa  抽速无法更改  在防湍阀设置为抽30分钟，尽量让罗茨泵少抽点时间  防湍阀能进入200pa，罗茨泵仅抽8秒有所改善 但是还不行   

请问各位大大们有什么办法没有，实在没有办法了，能用的发子都用了，高阀 底阀也让其开的比较慢了，跪谢各位大大们了

镀膜工艺为  250°   材料为HFO2 SIO2   两层膜

这个要看你的设备情况才好下结论，重点检查电子枪，均匀性板，膜料，气体，离子源，泵的使用情况

HGcoating 发表于 2015-5-28 08:58
这个要看你的设备情况才好下结论，重点检查电子枪，均匀性板，膜料，气体，离子源，泵的使用情况

膜料   修正板 电子枪 都确定过了  气体未确认  气体应该没有问题吧  如若气体不纯不应该主要出现在第四圈且只有套环边缘吧  没有李子园  现阶段主要怀疑抽速 请问还有其他更好的办法吗

一、检查基底清洁度、套环洁净度。二、单层没问题就检查膜料，另加热方式。

WENJINGREN 发表于 2015-5-28 12:54
一、检查基底清洁度、套环洁净度。二、单层没问题就检查膜料，另加热方式。

加热方式   我试过   低阀工作加热  高阀工作加热两种方式   都存在点的状况   基地 套环都没有问题

xiaohuilee 发表于 2015-5-28 13:36
加热方式   我试过   低阀工作加热  高阀工作加热两种方式   都存在点的状况   基地 套环都没有问题

是上加热还是下加热，尘点发亮吗

机器在40分钟左右进入5.5-4pa  这个抽速是不是太快了？ 确定真空计正常不？

镀膜机操作员 发表于 2015-5-31 23:55
机器在40分钟左右进入5.5-4pa  这个抽速是不是太快了？ 确定真空计正常不？

我们用的是低温泵 抽速快

WENJINGREN 发表于 2015-5-28 15:29
是上加热还是下加热，尘点发亮吗

不是膜料点  只有膜料点才发亮  是灰尘  但是找不到灰尘来的原因

xiaohuilee 发表于 2015-6-1 20:10
不是膜料点  只有膜料点才发亮  是灰尘  但是找不到灰尘来的原因

如果是下加热有可能是加热灯产生的

WENJINGREN 发表于 2015-6-3 10:21
如果是下加热有可能是加热灯产生的

我们是上烘烤  

现在问题解决国了吗