Tooling系数问题？

wjwvsly · *发表于* 2014-8-26 09:35:08

同一材料不同厚度层的tooling值是不一样的，特别是当两者厚度差别比较大时，tooling值差异就大。

魅力薄膜 · *发表于* 2014-8-26 12:05:57

电子枪也是有影响镀第一次跟镀第二次就有关系还有坩埚每次的位置也不同

ghtzna · *发表于* 2014-9-9 09:33:47

用的同一个修正板么

ghtzna · *发表于* 2014-9-17 16:07:02

ghtzna 发表于 2014-9-9 09:33
用的同一个修正板么

厚度不一样的话建议每层系数不一样因为比较敏感薄层系数小一点相对误差较小

royyang · *发表于* 2014-9-17 17:19:41

fly6947 · *发表于* 2014-11-3 15:04:27

两盒H料是同一个坩埚里面的吗？

lkwxp · *发表于* 2015-1-11 14:26:12

一种材料在不同层的修正系数本来就会有差异。机台性能，监控方式，膜系结构，等都会影响到材料修正系数。

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