光电极值法监控非规整膜

tfc 发表于 2012-8-27 13:11
实际上可以做到很方便，不用反复确定参数，而且结果重复性很好。

呵呵 大哥可以教教我吗     

我试验了好多次,极不稳定啊,为什么?如何控制?

xiaojiang007 发表于 2012-8-27 13:35
我的机台是光控的设备，全手动的那种，身边没有什么配套的检测设备，所以很棘手现在，头大的很 ，麻烦朋友 ...

      身边没有什么配套的检测设备,的确很棘手。那你做的是啥?单层，2层用眼看一下，难道多层介质高反膜的反射率和光谱特性也能用眼睛看？即使做规整膜系，也要测试的，除非你自己说了算，哈哈。
    做非规整的膜，初始膜系确定后，据每层的厚度，先确定各层光控参数，工艺，分别进行测试，修正，然后根据镀制的膜系测量参数或光谱曲线修正每层间的匹配，达到器件的技术要求为止。

gb936 发表于 2012-8-28 00:06
身边没有什么配套的检测设备,的确很棘手。那你做的是啥?单层，2层用眼看一下，难道多层介质高反膜的 ...

呵呵 谢谢大哥的回答  最后的关于非规整的监控工艺还是不了解，大哥讲的是思路对吧   还是无法掌握哦

gb936 发表于 2012-8-28 00:06
身边没有什么配套的检测设备,的确很棘手。那你做的是啥?单层，2层用眼看一下，难道多层介质高反膜的 ...

大哥所说的光控参数是指的什么，