关于镀膜表面不好怎么解决?

holdout@163 · *发表于* 2009-3-3 08:38:03

我们不充氧的!

JZNT · *发表于* 2009-3-3 10:08:22

用离子源吗？离子源清洗不干净也有可能

holdout@163 · *发表于* 2009-3-3 16:00:49

不用的,就是南光的700

bomolaonan · *发表于* 2009-3-3 16:52:06

扩散泵口有冷阱吗，会不会是扩散泵返油所致

holdout@163 · *发表于* 2009-3-5 08:33:12

有冷井的,我拆百叶窗看过了,没反油的!

*发表于* 2009-3-5 20:17:47

把源换了吧，应该是这个问题了

holdout@163 · *发表于* 2009-3-6 08:26:05

好的,再看看吧

漂流四方 · *发表于* 2009-3-7 15:28:48

楼上的你感觉南光机器好用吗？我用的是 500的，我们可以经常交流啊285525626

holdout@163 · *发表于* 2009-3-9 08:28:05

恩,好的,我也用过500不过不是镀膜用的,是熔料用的

yjl827 · *发表于* 2009-3-9 10:31:11

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*发表于* 2009-3-16 18:40:50

将氧气换一下，将材料再换一下！应该是没有问题的！

dbythy · *发表于* 2009-4-1 23:09:38

你是真空溅射镀膜吗?检查一下靶材?看一看清洗系统?

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