求助SiO2镀膜

*发表于* 2009-3-2 17:36:57

用柱状的SIO2应该会好点。不妨试试！不要用自动转的坩埚，用手动的！

JZNT · *发表于* 2009-3-3 10:29:32

我们用的是环形的，但没你说的那种情况镀完后还是平的，速度快应该不会有白点

zhangking · *发表于* 2009-3-3 20:52:09

楼上的你们速率稳定吗？

lukaiyan · *发表于* 2009-3-10 17:39:14

请问是用一种材料吗？有没有TiO2啊。我觉得和转速没有关系，一般SiO2不会有飞溅的。

longxiulin · *发表于* 2010-11-17 14:15:38

yezhi381009880 · *发表于* 2010-11-18 21:20:00

你只能是在光斑大小，膜料的种类，还有坩埚转数上下功夫咯。柱状硅料光洁度的确好很多

z1206l · *发表于* 2010-11-19 09:18:52

楼上的是绝对的高手啊。

z1206l · *发表于* 2010-11-19 09:18:56

楼上的是绝对的高手啊。

终南子 · *发表于* 2010-11-28 22:09:22

坩埚转速不是影响这个的决定因素,看看有没有预熔彻底

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