求助SiO2镀膜

zhangking · *发表于* 2009-2-25 14:06:00

用环形装SiO2镀高反的时候，坩埚需要转动，可是南光的机器，转动最慢最稳定是0.8rpm，这个速度有点快，SiO2还没熔就转过去了，镀出来的零件上明显有很多点。请问一般的转速应该是多少？镀出来的零件有没有问题？

filmgy · *发表于* 2009-2-25 15:21:09

确定点子是蒸发SiO2引起的?

zhangking · *发表于* 2009-2-25 23:10:13

应该是的，因为在SiO2转动的过程中，蒸发速率不稳。所以想知道大家是怎么用环行坩埚镀SiO2的

zzzz · *发表于* 2009-2-26 08:11:47

SIO2不会熔化,要是熔了就没啥东西了

holdout@163 · *发表于* 2009-2-26 08:32:36

我们用的也是南光的,镀sio2的时候也是环行锅,没有你说的那种现象啊,再找找其他看有没原因,

noodlesy · *发表于* 2009-2-26 09:49:26

1# zhangking

你们那是自动转的？好象一般是手动的，按纽

zhangking · *发表于* 2009-2-26 12:39:17

自动转的，最小速度是0.8rpm，但是这个速度还是比较快，蒸发速率不稳。楼上的我们试了手动的，就是镀好一层转点，但是几十层后，就基本找不到新的地方了

zhangking · *发表于* 2009-2-27 12:59:39

别沉阿，还没解决呢。。。。。。。

noodlesy · *发表于* 2009-2-27 15:44:07

自动转的，最小速度是0.8rpm，但是这个速度还是比较快，蒸发速率不稳。楼上的我们试了手动的，就是镀好一层转点，
zhangking 发表于 2009-2-26 12:39

"但是几十层后，就基本找不到新的地方了"是什么意思啊

shuangzixing · *发表于* 2009-2-27 18:23:01

我们也是南光的但已经叫他们技术员换过转速了，现在镀膜的时候转速可以很慢很慢。

zhangking · *发表于* 2009-3-1 14:16:48

楼上的，很慢是多少转？
9楼就是到处坑坑洼洼的，找不到可以有稳定速率的平的膜料

zhangking · *发表于* 2009-3-2 16:28:10

没人用过吗？
郁闷阿

回复|共 20 个