冷镀AR,使用zro2和sio2四层膜系，水煮过后sio2脱膜

帕博光学 · *发表于* 2015-3-11 19:39:23

貌似氧化锆与二氧化硅膜层结合性就不是很好的，我是做玻璃的，本底真空7X10-3帕，烘烤温度一直从250逐步加到300度水煮实验还是得掉，也多送氧化硅层掉完，锆层倒是比较牢固，因为那一层灰白色的还是完好的，颜色部分全部掉光。。。。同样是TIO2与SIO2的结合，烘烤温度250就很牢固了

maray · *发表于* 2015-3-23 18:00:10

牛牛轉轉圈 · *发表于* 2015-4-24 13:41:11

a520200 · *发表于* 2015-9-20 00:04:57

能确定第几层脱膜？怎么知道的？

wlinliu · *发表于* 2015-10-23 19:33:46

你既然已经确定了是中间层开始脱落，那么我想不管你是什么方法知道的（比如最简单的镀前面没有脱落的层对比光谱）

如果都是这一层之前脱落，那么这一层之前肯定是出了问题的，是否有镀超防水？？？，超防水如果是放在坩埚蒸镀的话，跟你的ZrO2若是相邻坩埚，防水镀点比较低，那么考虑是否在镀二氧化锆之前有防水的材料镀上去了。
坩埚里面去掉防水药片试试。