镀膜过程中速率不稳定

楼上的 速率法是一种 判断方法，一般应在 0.5以下，根据经验来.

仪器（含振荡包） + 连接电路（含探头各组件）+ 晶振片
(1) + (2) + (3)
都有可能出问题。
即使装上去一切正常的， 也会有抽真空、加热以至于转动等 各种返油性物  粘附到晶振片表面，使得成膜不正常。
冷热变化也会带来连接异常。
膜林晶控仪，可以自检（检查仪器和振荡包）排查 第(1)种
膜林晶控仪，损耗测量 量测的是 (2)+(3)整体， 可以通过更换晶振片来 判断是否 （2）关系更大。

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