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光电工程师社区»光电论坛 › 光电理论及应用技术 › 光学镀膜技术及膜系设计 › SiO2 中频溅镀时通入N2作用？

[科普] SiO2 中频溅镀时通入N2作用？

 火...
5.8k 3
发表于 2010-9-9 12:02:34|广东 | 查看全部 阅读模式
SiO2 中频溅镀时通入N2作用？
为什么中频磁控溅镀 SiO2 通入N2. 有什么作用？请教
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回复|共 3 个

stone_zheng 楼主Lv.3 发表于 2010-9-13 22:12:56|广东 | 查看全部
没人理会哦
留下邮箱，静待您的指教stone.zheng@hotmail.com
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banchao Lv.7 发表于 2011-3-10 15:38:57|浙江 | 查看全部
使用的什么靶材？SiO2陶瓷靶？
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xiao2011 Lv.8 发表于 2012-4-22 22:25:34|广东 | 查看全部
学习
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