镀膜机里的修正档板如何设计

luchen593 · 发表于 2010-10-11 15:19:54

现在我的课题是设计镀膜机里的修正档板。搜了一些文献。其中有一篇感觉比较好理解。他是通过实验结果来设计。实验中所用镀膜机的夹具为平面转动夹具，蒸发方式为电子束蒸发。而其中的一部分计算方式我不知道依据什么来的。见下：

根据实验所得结果，理论上设计高反膜的修正挡板,理论设计所用数据如表所示
表中：半径 r 为距离中心的长度；相对厚度为两次高反膜实验的平均值；△t=(t－1)×100;未修正弧长ρ＝2πr/100;d 为蒸发源距离基板上选取点的长度；H 为转动轴的高度，H=510mm;δ=M1/Mn（n=1-7）；修正长度L=δ×ρ。

请教一下，这里的未修正弧长，修正长度怎么理解？是什么依据？如果是球面转动夹具改如何计算？
然后他利用计算机软件 Origin 做出曲线拟合，做出了档板曲线。
请问下还有什么方法能够比较好理解的设计出修正档板？

1985120 · 发表于 2010-10-11 20:16:19

能把文章发出来吗？有点乱。sy1985120@126.com

qjy · 发表于 2010-10-11 20:34:00

慢慢琢磨琢磨吧!做课题不能光靠别人！

280345601 · 发表于 2010-10-11 21:16:50

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xiaowenyan · 发表于 2010-10-13 19:35:06

[技术] 镀膜机里的修正档板如何设计

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