请教：直径很小的金属曲面如何检测形状

insureamd · 发表于 2003-8-12 19:03:00

直径大概是几百个微米数量级，金属表面很光滑，有什么方法能精确测量出曲面形状，谢谢！（如果是球面是不是有简单得方法测量）

土豆 · 发表于 2003-8-13 02:45:00

问题是光滑到什么程度？能反射光线吗？
如果能反光的话就用以前说的那种测量光纤端面形状的“色光焦距法”吧？
（他们叫“白光干涉法”）
或者也可以考虑用激光聚焦在微曲面上，然后对比分析散射光的性状？

insureamd · 发表于 2003-8-13 18:18:00

光滑的接近于镜面，光线可以近似为镜面反射。

白光干涉法？（是不是莫里条纹？），能不能说具体点，哪里能找到相应资料？

多谢！

土豆 · 发表于 2003-8-13 19:32:00

NC3000自动非接触干涉仪系统
http://www.lienhe.com.cn/product/explain-c-nc3000.htm

这是用来测量光纤端面的专用装置，不过可以参考，

insureamd · 发表于 2003-8-14 17:51:00

我还有个问题想请教，那就是如果待测物体是半球状，那么如果是一束平行光照射上去，由于是镜面反射，那么在接收光的地方就会有很多地方没有光，这样也就看不到干涉现象，请问这个问题是如何解决的，是从光源角度还是从接收光的角度？
多谢！

fay · 发表于 2003-8-14 20:13:00

Do you try to measure the profile of BGA? if so, there are some instrument in market for this purpose.

无痕 · 发表于 2003-8-14 20:20:00

有很多商业的仪器测量面形的.主要取决与你测量的精度,以及本身表面的粗糙度.

土豆 · 发表于 2003-8-14 20:41:00

如果是用迈克尔逊干涉法，就有两个反射镜，
如果一个是平面反射镜，另一个是半球面反射镜，
由于两个像无法重合，可能就看不到干涉环了，
不过如果两个都用半球面反射射镜或许还是可以看到干涉环的？
要试试了，但是两个半球的半径要一样才行，
比如一个用比较标准的半球，另一个是待测的半球，
当然还要尽量保证两个半球的反射光强度基本一样才好，

不过经过半球反射后的光斑直径可能很大，
估计能产生干涉的也只是球顶部的一个区域反射回来的光了？

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