设为首页收藏本站
光电工程师社区»光电论坛 › 光电理论及应用技术 › 光学仪器及精密测量技术 › 怎么用小口径干涉仪测量大直径镜片的平行度？？ ...

[讨论] 怎么用小口径干涉仪测量大直径镜片的平行度？？

 火...
5.1k 3
发表于 2011-3-11 23:05:43|江苏 | 查看全部 阅读模式
有没有哪位有用小口径干涉仪测量大直径镜片的方法介绍啊！现在我们一台干涉仪（zygo类式). 口径是25.4mm。但是我的镜片是25mm的。想测量平行度（两个面的斜角). 测量时候的问题是镜片把参考面整个挡住了，没有参考光，所以无法测量。各位有什么高见啊，采用局部显示测量的方法（就是指将镜片的一半放置在光路中）可以吗？
谢谢了！
ds1234567
可以，参看光学测量与仪器第453页，只是垂直条纹方向的测长度减少些，如果楔角10秒左右，不放参考镜也可，其两面干涉，即时与标准平面微倾也不怕，平行差行成固定条纹数。 
发表于 2011-3-13 06:23
回复 转播

使用道具 举报

回复|共 3 个

kinefree Lv.9 发表于 2011-3-24 16:42:01|湖北 | 查看全部
学习学习
回复 支持 反对

使用道具 举报

huyuzhe Lv.6 发表于 2011-5-20 13:32:03|上海 | 查看全部
不会吧，zygo的干涉系统不是菲索的吗？
你的参考光和物光是你被测件前表面和后表面的反射光，应该不存在被测件太大挡住参考光吧。
回复 支持 反对

使用道具 举报

huyuzhe Lv.6 发表于 2011-5-20 13:32:33|上海 | 查看全部
哦，我说的是自准测量，建议用这个，精度高
回复 支持 反对

使用道具 举报

返回列表 发新帖

回复
高级模式
B Color Image Link Quote Code Smilies
您需要登录后才可以回帖 登录 | 注册

本版积分规则

上一主题 下一主题

关于我们

关于我们 加入我们 新闻动态 联系我们

服务支持

官方商城 成功案例 常见问题 售后服务
投诉/建议联系

admin@discuz.vip

未经授权禁止转载，复制和建立镜像，
如有违反，追究法律责任
  • 关注公众号
  • 添加微信客服
Copyright © 2026 光电工程师社区 版权所有 All Rights Reserved. Powered by Discuz! X5.0 Licensed 鄂ICP备17021725号-1
关灯 在本版发帖
扫一扫添加微信客服
 返回顶部
快速回复 返回顶部 返回列表