[讨论] 怎样估算折射率和膜厚(新)

   火...

回复|共 78 个

Jimmy_tang Lv.8 发表于 2011-11-3 10:15:14|上海 | 查看全部
本帖最后由 Jimmy_tang 于 2011-11-3 11:49 编辑

我今天做了一次Al2O3(基底为石英)的测试,结果是两个极值点分别是1162nm和396nm,这该怎么算啊?两个极值的比值都是3了。
晕,弄懂了。我把两个相邻极值点理解为两个相邻极大值点了。难怪出错。
Jimmy_tang Lv.8 发表于 2011-11-3 10:18:58|上海 | 查看全部
镀的厚度还需要多增加一些,才方便计算吗?
Jimmy_tang Lv.8 发表于 2011-11-3 11:53:07|上海 | 查看全部
本帖最后由 Jimmy_tang 于 2011-11-3 14:09 编辑

我用Nb2O5在550nm走了4个极值,得出如下的图形。可按照计算,这里却成了5个1/4波长厚度,怎么回事啊?
图里面是测的反射率,3个极大值点分别为875,544,408,2个极小值点为669,465。
2.JPG
刚才不小心把4个极值当成3个极值了,抱歉。 
发表于 2011-11-3 14:14
Jimmy_tang Lv.8 发表于 2011-11-3 12:46:47|上海 | 查看全部
本帖最后由 Jimmy_tang 于 2011-11-3 14:13 编辑

用TFC模拟了一下,完全一模一样嘛,就是5个1/4波长厚度的时候的形状。
难道我的镀膜机对Nb2O5的tooling值有1.25?
我把常用的几个物料都拟了一遍,似乎感觉测量出来的都多了一个1/4波长厚度?是不是我弄错了什么基础概念?
还是例如Nb2O5,
初始设定值(一个较小值)->极大值->极小值->极大值->极小值,
这算是4个1/4光学厚度,还是5个1/4光学厚度?
xiazg Lv.8 发表于 2011-11-3 15:07:47|浙江 | 查看全部
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Jimmy_tang Lv.8 发表于 2011-11-3 15:28:33|上海 | 查看全部
我的晶控仪坏有一段时间了,一直用的光控。晶控仪修也不是,不修也不是。。。
rayland Lv.2 发表于 2011-11-4 21:48:47|上海 | 查看全部
sery1234 发表于 2011-4-1 08:49
大家踊跃点哦,关于膜层的损耗问题的计算,那位有什么高见,求赐教!

估算膜厚与折射率,这个方法是有效的。以前就是这么做来的。

但膜层损耗,恐怕还是需要用软件来反向模拟。
如果没有反向模拟软件,或假定一个系数,用软件正向计算,眼睛看结果了,呵呵。

单从透(反)射率曲线 几个极值点的值,信息量太少。 即使可以计算,成膜均匀性、散射、测量误差等等因素, 都会带来计算偏差。再退一步,即使没有这些影响,又如何区分 折射率变化 和 损耗对 测量值的影响。

吸收同样存在色散,假定遵从某个近似方程。通过多点拟合,近似得到方程的系数。 选择不同近似方程,得到的结果也会不同的。

rayland Lv.2 发表于 2011-11-4 22:00:03|上海 | 查看全部
Jimmy_tang 发表于 2011-11-3 15:28
我的晶控仪坏有一段时间了,一直用的光控。晶控仪修也不是,不修也不是。。。

你的估算是没有错的。头脑里清楚,极大与极小是奇数还是偶数个,列个方程就可算出,当然还需要近似。 注意选取监控波长附件的极值波长。以减小色散影响。

那个昵称 "**xtc"的,是***/*晶控仪的砖家。修的话可找他一试。
sery1234 楼主Lv.8 发表于 2011-11-5 10:27:22|福建 | 查看全部
Jimmy_tang 发表于 2011-11-3 15:28
我的晶控仪坏有一段时间了,一直用的光控。晶控仪修也不是,不修也不是。。。

最近有的时候没上来 看了你这么多没有回复,抱歉,我的qq441487115 有问题给我发个消息,大家一起交流。
yong0009 Lv.8 发表于 2011-11-5 15:33:48|广东 | 查看全部
kingpeter Lv.8 发表于 2011-11-5 22:25:38|江苏 | 查看全部
sery1234 发表于 2011-3-26 10:34
镀个较厚一点的单层膜,根据极值点(膜比基底折射率高的看极小值,膜比基底折射率低的看极大值,并且选取长 ...

真的很难得!感谢楼主的分享!
Jimmy_tang Lv.8 发表于 2011-11-7 11:19:27|江苏 | 查看全部
sery1234 发表于 2011-11-5 10:27
最近有的时候没上来 看了你这么多没有回复,抱歉,我的qq441487115 有问题给我发个消息,大家一起交流。

好的。我QQ241576438,加你了。

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