蓝宝石规格各种参数对PSS及MOCVD外延制程的影响

Moonish_潇 · 发表于 2011-4-4 15:50:58

本帖最后由 Moonish_潇于 2011-4-9 13:59 编辑

求专家解答：
蓝宝石衬底规格中的一些关键规格参数如BOW，TTV， WARP，正面Ra，反面Ra，LTV等，对后续PSS制程以及MOCVD外延层制程都有什么样的一些影响？我现在只知道衬底的加工流程，对于之后客户使用产品的时候，由这些指标偏差所能带来的问题不是很清楚，还请各位大神指点迷津！不胜感激！！

我知道这些是属于行业机密或者技术核心类型的东东，就是想知道一些大概的方向，哪怕说的再模糊都可以，因为我是做蓝宝石衬底的新手，对于后续PSS跟MOCVD制程可以说根本就是一无所知了，我就是为了能有哪怕一丁点的了解都ok的了。拜谢各位大神了，透点消息给小弟我吧！！

Moonish_潇 · 发表于 2011-4-6 09:01:21

求解啊！！！

Moonish_潇 · 发表于 2011-4-8 08:00:59

怎么没人回复？？

JeffreyWu · 发表于 2011-4-9 08:01:12

以前我在一篇论文上见过，好象也是网上下载的，等我有空了找找看。

JeffreyWu · 发表于 2011-4-9 08:02:00

你们公司有长外延吗？

myspic · 发表于 2011-4-9 09:11:48

楼主就是拿20个真正的金币也不一定能得到想要的答案呀

Moonish_潇 · 发表于 2011-4-9 13:59:23

回复 myspic 的帖子

我知道这些是属于行业机密或者技术核心类型的东东，就是想知道一些大概的方向，哪怕说的再模糊都可以，因为我是做蓝宝石衬底的新手，对于后续PSS跟MOCVD制程可以说根本就是一无所知了，我就是为了能有哪怕一丁点的了解都ok的了。拜谢各位大神了，透点消息给小弟我吧！！

Moonish_潇 · 发表于 2011-4-11 10:13:17

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求发送，moonish_xiao@foxmail.com 不胜感激！！！

Moonish_潇 · 发表于 2011-4-11 10:14:57

回复 JeffreyWu 的帖子

没有，只是做衬底，但我是觉得要了解后续外延工序的一点东西的，而且最近有个报告要做，所以需要。如果有的话，还请不吝赐教！

jdx1981 · 发表于 2011-5-5 18:32:25

我也想看看，谁有传上来哦

Moonish_潇 · 发表于 2011-5-6 08:48:05

等一个月了，还没人给点有意义的东西。。。。。。。。。。。。。。

reecho2000 · 发表于 2011-8-11 00:14:19

[技术] 蓝宝石规格各种参数对PSS及MOCVD外延制程的影响

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