[技术] 如何获得高精度干涉条纹的测量

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发表于 2011-4-25 22:55:26|日本 | 查看全部 阅读模式
泰曼干涉仪,如何获得1/100 波长以上的面精度测量呢,下面就介绍一些基础知识。
1) 待续

回复|共 1 个

rain1234567890 楼主Lv.2 发表于 2011-4-27 21:33:14|日本 | 查看全部
本外差式干涉仪,设法使相干的两束光的频率产生微小的差值,通过检测其差值的大小,把干涉条纹的位相值转换成电气信号的位相值,以获得高精度测量。
 普通干涉计所测量的结果,大都是依波长为单位的结果、在精度要求更高的场合,尽管干涉条纹强度变化类似正玄波状,可通过测量强度变化求解光的位相变化量,但光强度空间或者就时间性来看,存在微观变化即漂移性,要获得光波长单位的1/10以上的测量精度,并不是件容易的事。

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