关于扩散泵返的油问题

hgw2001 · 发表于 2003-7-5 01:17:00

导致扩散泵返油的因素有哪些呢？要如何防止？

ic5 · 发表于 2003-7-6 01:03:00

有水冷不好、油使用时间过长等，防止方法就是找出上述原因啊！

阿杰 · 发表于 2003-7-6 03:58:00

1.各个阀门开关顺序出错。
2。漏气严重。
3。阀门密闭不严。

ic5 · 发表于 2003-7-6 23:39:00

阿杰说的是手动扩散泵哦，这样的设备不漏有很难，主要看你怎样避免进入真空室，。

hakuto · 发表于 2003-7-7 21:13:00

可加装POLYCOLD产品，效果很好。

lavajydm · 发表于 2003-7-10 05:56:00

希望你看一下薄膜技术的文章介绍设备的！

isfm · 发表于 2003-7-12 07:25:00

使用冷阱会大大减小返油量

ic5 · 发表于 2003-7-12 17:43:00

POLYCOLD主要是为了除水气，还是为了防返油？

阿杰 · 发表于 2003-7-14 01:58:00

POLYCOLD既除水气，还可防返油

YJD · 发表于 2009-9-2 23:27:38

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ouyuu · 发表于 2009-9-4 12:51:29

在泵出口加POLYCOLD或者水冷。
其实水冷也就够了，看油的质量。

个人感觉polycold太贵了，先加水冷试试。

z1206l · 发表于 2010-5-28 15:03:16

哪家的polycold好呢？