Tio2與Ti3o5的差別?

kuan · 发表于 2003-8-1 00:46:00

如題

Jesus · 发表于 2003-8-1 01:03:00

实际上无论做哪种Ti的氧化物膜，最后在基片上生成的基本都是TiO2.
做Ti的氧化物的膜就是要求氧压要高，促进Ti与O2的充分反应，避免吸收.

Jesus · 发表于 2003-8-1 20:19:00

在煉藥時的行為不太一樣
tio2的廢氣較多
why??
不太懂你的意思，你的意思是说TiO2和Ti3O5在蒸发的时候的放气大不一样是吧？
我觉得那主要和材料的烧结和预熔工艺有关了。

coatingli · 发表于 2003-8-2 01:46:00

TiO2膜料吸收要小点吧

jeh · 发表于 2003-8-5 21:16:00

针对TIO2，怎样蒸发（包括预熔）才能做到吸收最小？真空室内温度、真空度、充氧量、蒸发速率？离子源会影响吗？

Jesus · 发表于 2003-8-5 22:48:00

Ti氧化物膜的吸收强弱取决于其蒸镀过程中氧化的程度,如果与氧反应充分则吸收小,如果反应不充分,则光吸收大.所以吸收程度的强弱主要取决于真空室里氧压的多少.
当然你所说的温度,蒸发速率等也有影响.至于具体的工艺,因为设备的不同,要自己实验摸索,不过一般蒸发Ti,充氧后的气压1.0 -2Pa------3.0 -2Pa之间比较合适,另外蒸发速率适当放慢些.

nickzheng · 发表于 2003-12-29 04:01:00

应该说在成膜的膜层中含有的成分有TiO2,TiO,Ti2O3,Ti3O5,Ti等等。如果TiO,Ti2O3,Ti3O5,Ti含量比较高的话膜层的吸收就比较大。所以镀制的时候一定要冲氧。有报道说Ti2O3在冲氧热镀时效果非常好，吸收很小。

flyingheart · 发表于 2003-12-29 07:43:00

请教充氧后的气压1.0 -2Pa------3.0 -2Pa之间？？？
是1.0* 10-2吗？？

Jesus · 发表于 2003-12-30 00:53:00

flyingheart,是的
当然各自的工艺不同，所以我也不敢肯定ok
但我觉得这个气压比较合适

shanyu · 发表于 2003-12-30 23:10:00

1.0E-2 Pa的条件并不是说固定，不同的设备，不同的条件，要经过试验才能得出的。

lavajydm · 发表于 2004-1-11 04:24:00

有详细的资料吗？我想看看啊！

jeh · 发表于 2004-3-25 20:03:00

北京巨玻的TIO2比TI3O5蒸发时需要的束流比较大，放气也比较多。

Tio2與Ti3o5的差別?