关于PROVAC真空镀膜机

HGcoating · 发表于 2011-7-13 13:35:13

离子源功率最大1700W，超过这个数字就不稳定了。

lunik · 发表于 2011-7-13 13:40:04

这种电子枪的枪丝安装装置和美国产的系列比较一致，如TEMESCAL和TELEMARK的。
这种枪一般都有导磁片的，如果没有的话，容易引起光斑漂移。原来见过一个2手设备，导磁片没了，和你说的情况蛮相似的。
这个机器的设计对均匀性影响超大，不知道是为什么？想不明白。
希望对你有帮助吧。

HGcoating · 发表于 2011-7-13 13:44:36

楼上兄弟你所说的导磁片是指枪下面磁铁块吗？除了这个两边两导体还有永久性磁铁。主要是光斑形状非常差，调整都没反应。

HGcoating · 发表于 2011-7-13 13:45:38

光斑确实在漂移，特别是镀SI材料时更明显。速率没办稳定下来

lunik · 发表于 2011-7-13 13:55:03

在电子枪的两侧，是有2块永磁体。在2块永磁体的上边会固定导磁片。有的还是各2片呢。
这个对光斑影响最大的。加上导磁片后就可以调整大小了。
你们的机器是最新的吗？刚搜了下，PROVAC貌似也做了10年了，不至于这个都不知道吧？

lunik · 发表于 2011-7-13 13:55:59

你镀的是SI还是SIo2呢？
我是想看你的图片才登陆的，嘿嘿

HGcoating · 发表于 2011-7-13 14:08:14

谢谢楼上兄弟的分析，你所说的导磁片我好像没有发现呢? 我们镀SI材料。机器刚买一年时间啊！

HGcoating · 发表于 2011-7-13 14:22:53

这是电子枪照片

HGcoating · 发表于 2011-7-13 14:24:43

请教lunik ，这上面是否有导磁片呢？

lunik · 发表于 2011-7-14 10:49:29

从上边的图来看，是没有导磁片。这个你最好把电子枪的型号记下，给TELEMARK的人发个EMAIL，他们一般会答复你的。
我们原来的那套2手设备，也是这样的问题，后来加了导磁片后，就好了。

HGcoating · 发表于 2011-7-15 11:26:52

谁有TELEMARK电子枪的同志啊。说说你们的电子枪是什么样的？是否都有导磁片呢？

HGcoating · 发表于 2011-7-19 15:01:58

公司运气不好，也可能被厂家忽悠了

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