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参考波长一般是在膜堆设计时用的,有时参考波长等于使用波长,有时不等,比如膜系(2H2L)^10 2H,如果用于1064反射,则设计时的参考波长应为532(光控走格一个来回算一个H层或L层),如果(HL)^10 H也用于1064反射,则参考波长应为1064(直接走一个极值就是一个H或一个L,与走两个532参考波长下的极值是等价的)。监控波长有时就是参考波长,有时也不等,在实际使用时,在一个设备上,白光经过单色仪后选出一个波长作为镀膜时的指示波长,这个波长就是监控波长,根据控制片的物理位置不同,监控波长与参考波长经常有个偏差,比如说监控波长为500,可能镀出来的结果是532的,也有可能监控波长为550时才对应532 四分之一波长往往跟光学厚度联系在一起,nd=λ/4,它就是对应着极值点的位置,在控制片上分析时,这个波长就对应监控波长,对设计的膜系分析时,就是参考波长。 我不知道有没有说清楚了。 |