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[讨论] MEMS继电器典型结构及其研究进展

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5.8k 0
发表于 2011-10-8 09:10:07|湖北 | 查看全部 阅读模式
综述了目前国内外主要MEMS继电器的原理和典型结构,包括静电型、电磁型、电热型、液态型及混合型微继电器,并对各种类型微继电器的特点进行了比较。

MEMS继电器典型结构及其研究进展.pdf (363.58 KB, 下载次数: 0)
继电器
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