薄膜应力影响膜层牢固度讨论

各位大哥们，向你们请教一下薄膜应力的问题。
我知道应力分为两种，一种是内应力，是有膜本身结构造成；另一种是热应力，是基板冷却后薄膜与基板收缩程度不同而产生的。问题如下：1.影响内应力的因素蒸发速度是主要的因素吗，还有其他可以控制的吗
          2.影响热应力的因素是镀膜完成到放气的间隔时间吗，还有其他可以控制的因素呢
                          谢谢大家的回帖！

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你说得都不全面

jiayuch 发表于 2011-11-15 11:41
你说得都不全面

恩，我也知道不全面，你知道的话能讲讲吗，谢谢了