Thorlabs公司研发的精密位移台参数解析（多图）

yctt · *发表于* 2011-12-7 11:44:32

本帖最后由 yctt 于 2011-12-7 11:58 编辑

Thorlabs公司研发的三轴位移台除了外形设计各具新颖之处，若干关键数据剖析如下:

MBT616D的驱动是差分驱动器，4毫米粗调行程，300微米细调行程，细调分辨率50纳米每转，适用于单模光纤调整排列。

MBT602的驱动用的是翼形螺钉，4毫米行程，调节分辨率只有1微米每转，价格较前者便宜了两三千元。两款价格都在万元以下。

NanoMax系列平台

MAX313D是本公司基础版的MAX300平台，带差分驱动器。这些驱动提供0.5毫米/转的粗调（4毫米粗调行程），和50微米/转的细调（300毫米细调行程）。该平台没有压电驱动器和应变计。该款价格约在12000元左右。

MAX312D较前者多了个开环压电驱动器（该驱动器直接集成在平台主体内），提供20微米的行程和20纳米的定位分辨率。因此价格升了个等级。

MAX311D采用直接嵌入在平台主体内部的闭环压电驱动器，能提供20微米的行程和5纳米的定位分辨率（闭环控制）。精度更高，因此价格也升高了。

MAX301，MAX302，MAX303都是上述型号的无差分驱动器版本，

也就是说可以自行选择与NanoMax相兼容的驱动器，可以是电动的，手动的。

以上都是手动调节的，而带步进电机的三轴NanoMax平台，有MAX341和MAX343两种，后者不带闭环压电驱动。与MAX341和343平台一起出售的DRV001控制器具有60纳米的步长和高达4毫米/秒的速度，同时还提供500纳米的双向重复性，并且其Backlash也就是后坐力小于7微米。两者价格也达到了2万至3万。

Thorlabs公司还提供多轴平移台如六轴，拥有更多的自由度满足更广泛的应用，可详见公司官网。