光控的tooling

Jimmy_tang 发表于 2011-12-20 15:03
我这个偏差通常是0.8啊。上周工转盘坏了，修完后，发现曲线异常，算了一下后，吓了一跳，膜的折射率高了很 ...

O(∩_∩)O哈哈哈   
你这个问题我前段时间也遇到了，也是异常几天。晶控的小问题真的很多的。你的那个0.8的偏差是有点大哈，不过只要把握好规律就可以了。

Jimmy_tang 发表于 2011-12-20 11:19
谢谢你的确认。
不过，为什么我计算出折射率后，再用TFC依照此折射率做出曲线，曲线与实际曲线 ...

你算折射率是不是手算的，应该是折射率的色散导致的。

buaa_dsw 发表于 2011-12-15 23:18
光控tooling概念存在于间接光控型的镀膜机（直接光控就是1了），定义为：监控片上薄膜的光学厚度/实际样片上 ...

朋友说的这两者光学厚度怎么求呢    还有我软件里面设计的厚度，这三者是什么关系 我现在有点搞不清楚，谢谢朋友解答下  

Jimmy_tang 发表于 2011-12-20 09:19
我是测光谱曲线，然后算出极值点处的折射率。
能测量厚度的仪器我好想要啊。。。

朋友算出折射率后，是怎么计算得到光学厚度呢 ，是用n*d   也就是用折射率乘以物理厚度吗，那材料的物理厚度在那得到的 ，是在软件里面看出来的吗 ？还是其他的方法呢 谢谢  

路過學習.....

Jimmy_tang 发表于 2011-12-20 09:19
我是测光谱曲线，然后算出极值点处的折射率。
能测量厚度的仪器我好想要啊。。。

那朋友你的物理厚度是怎么得到呢，这个厚度要确认吧，难道用的是软件里面的物理厚度吗 ，还是通过其他的途径呢，谢谢解答下