监控波长与镀膜曲线，懂光控的请进来看看。

Jimmy_tang

我用500nm作为监控波长，走5个极值。完成后，我扫描监控片镀膜曲线，发现5阶极值点波长在569nm位置。
这是什么原因？是tooling偏差，还是我的单色仪跑偏了？

otxtc

1, tooling本来含义中没有这个偏移量的，这是个人经验，不是不可行。
   因为tooling本身是个近似值，而且这个值似乎一直会变化。你以为好的时候，膜系出来不一定好，反过来也一样。
   tooling的变化是镀膜机重复性的难点所在，不可绝对避免，这也是为什么发展直接光学监控的根本原因(当然，各有利弊)。
   只要镀出合格的膜系，就是猜的tooling都可以。
2, 8kv，你是指电子枪负高压吧；对于离子源及其效果，本人了解数据有所欠缺，不多言；
3, 你能用2个波长校准已经很够意思了，作为用户用1个波长看看就差不多啦。汞灯是单色仪生产厂家用的。

xiao2011

Jimmy_tang

补充一下，我用另外一个膜料，同样镀完后，5阶极值点也跑到559了。
如果是单色仪跑偏了，那么应该也在569位置。
会不会是因为走值完成后，真空炉中剩余的介质继续附着导致的呢？

filmokay

Tooling看下，测试下光控的玻璃片的光谱是多少

yibi11

应该是由于膜层在空气中吸收了水汽漂移的原因！

272813953

一，你先测测你的监控片，看看到多少啊
二，膜料不一样吸收的水份不一样，那你测出来就不一样啊

Jimmy_tang

filmokay 发表于 2011-12-28 16:57
Tooling看下，测试下光控的玻璃片的光谱是多少

我现在就是不确定tooling值，所以才做这组实验。你说的光控的玻璃片，是指监控片吗？

Jimmy_tang

yibi11 发表于 2011-12-28 17:28
应该是由于膜层在空气中吸收了水汽漂移的原因！

这个。。。应该不可能吧？能吸收到使厚度变厚10%以上，我觉得很难理解。。。

jiayuch

Jimmy_tang

272813953 发表于 2011-12-28 21:09
一，你先测测你的监控片，看看到多少啊
二，膜料不一样吸收的水份不一样，那你测出来就不一样啊

不是很明白你一的意思，我上面的数据就是监控片的扫描曲线啊。
二的话，是指确实是因为膜料的原因，而不是单色仪的偏差。对吧？

filmokay

Jimmy_tang 发表于 2011-12-29 09:49
我现在就是不确定tooling值，所以才做这组实验。你说的光控的玻璃片，是指监控片吗？

是监控片