膜面质量

yibi11 · 发表于 2012-3-9 11:40:26

现在出的东西膜面不能让人满意，用强光一照之下总是发现有许多点子，不知道是膜料沾点还是杂质等其他的东西，头疼啊！我多融了料，抓了清洁，效果都不明显，现在怀疑跟枪有关，希望各位大哥多发表点意见，先谢谢了。对了，我用的是铪和硅！

ZHJ7239 · 发表于 2012-3-9 20:34:14

我们用氧化铪膜料也是有很多点，

想夜的雨 · 发表于 2012-3-9 23:03:33

关键问题是蒸发速率，如果速率过大，膜层的粗糙度会很大，降低速率试试吧

想夜的雨 · 发表于 2012-3-9 23:19:02

还有一点就是，与使用的离子源有关系，看是哪个类型的离子源。

WENJINGREN · 发表于 2012-3-12 09:53:20

先分清点子的状况，才能确定

yibi11 · 发表于 2012-3-13 17:09:26

想夜的雨发表于 2012-3-9 23:03
关键问题是蒸发速率，如果速率过大，膜层的粗糙度会很大，降低速率试试吧

感谢了，我用的是老设备，光控的，速率也刻意放慢，不过若是慢多了膜厚仪会不稳定，结果出来效果也不好，另外弱弱的说一句，那台设备上没得离子源。。

yibi11 · 发表于 2012-3-13 17:11:35

WENJINGREN 发表于 2012-3-12 09:53
先分清点子的状况，才能确定

日光灯下看不出来，我们是用强光的那种手电筒来看，就感觉膜层上面密密麻麻的全是像灰层一样的点子，，，

yibi11 · 发表于 2012-3-13 17:12:50

ZHJ7239 发表于 2012-3-9 20:34
我们用氧化铪膜料也是有很多点，

我也怀疑会不会是料的关系

nkclone · 发表于 2012-3-13 17:33:43

熔料质量也制约表面光洁度啊。

guhua530 · 发表于 2012-3-14 07:20:23

膜面点子,我做可见光到红外的镀膜一直都存在这个问题，请有实际解决能力的高手指点啊！
个人觉得材料是个决定因素！

yibi11 · 发表于 2012-3-14 12:10:40

guhua530 发表于 2012-3-14 07:20
膜面点子,我做可见光到红外的镀膜一直都存在这个问题，请有实际解决能力的高手指点啊！
个人觉得材料是个决 ...

顶

tfc · 发表于 2012-3-16 09:18:13

用金属铪+氧+SIO2做过10——5的产品，你的老机器，那么门是关不太紧了，要靠真空吸力。。。

[讨论] 膜面质量