关于监控片的问题

zouyou828459 · *发表于* 2012-3-28 22:21:04

各位大侠我是个镀膜新手哈。我最近看到经常有贴子里面讲到关于每一层或者几层就要换监控片了。请问这个监控片是安装在真空室内还是外呢？为什么老是要更换啊我公司里的监控片一般一炉换一次的而且是要镀完放气了才能更换的。请知道的大侠帮我解答吧

E501559 · *发表于* 2012-3-29 08:35:53

要看你镀的层数，如果镀的层数少，一般都不用换的了；如果层数很多，一个肯定不能满足要求了，当然就需要换了。

yibi11 · *发表于* 2012-3-31 17:08:00

楼主的这个问题让我直接无语了，虽说是新人，但起码你应该知道哪个是监控片吧！！

如果这都不知道，我觉得就不只是新人了，你说你是公司老总，不懂技术，我觉得还可信一点。。。

xiaohuilee · *发表于* 2012-3-31 19:49:20

根据你叙述的你用的是旋转式监控装置，每个套筒只能放一个监控片的。如果用的是套筒式的，一次可以放5.60个，镀普通的AR膜一般一天才更换一次

otxtc · *发表于* 2012-4-1 08:54:20

yibi11 发表于 2012-3-31 17:08
楼主的这个问题让我直接无语了，虽说是新人，但起码你应该知道哪个是监控片吧！！如果这都不知道， ...

楼主知道算折射率，却不知道监控片装在什么地方，看来像个刚毕业的学生，瞎猜莫怪，呵呵。

1. 监控片装在真空室内的，与样品同时镀上膜，这样才能实时监控。
根据监控方式不同，监控片的位置与数量各不相同。
正因为在真空室内，所以要在大气下才能人工更换(不是以下说的换点位)。

2.1 DWDM成膜时，监控片就是样品片本身，属于直接监控。
工件架式直接监控，监控片装在工件架上，与样品位置相当。同样一片到底。

2.2 常见到的是间接监控，监控位置在腔体的中心附近，监控片放上去后不随工件架转动。工件架在外转动。
一般有多个点位可更换使用，这多个点位可以是多个小片组成也可以是一块整片，只露出一个孔用于接受成膜，通常在一个平面上，通过转动来更换点位。
听说过还有一种监控片落在一起的，需要时一片一片放到监控位置上，更换需要相对复杂的机械动作，没亲眼见过。

3. 至于几炉换一次监控片，看你的监控片点位数量和成膜工艺要求了。