急！急！急！有关发雾

强子 · 发表于 2012-4-14 15:23:20

本帖最后由强子于 2012-4-21 17:00 编辑

如图，最近生产的产品表面不够透亮，有发雾现象，在显微镜下看有层一层密集的小红点，出现此现象后我将温度从250（实测）调整到现在的180，O2也下调到现在的极致（再调就会发黑），但实际还是不稳定，时有发雾现象。镀膜材料为TI3O5和SIO2，速率为2.5和6.请各位同行帮我分析一下看是哪个环节没做好。

WENJINGREN · 发表于 2012-4-15 10:02:09

基地不干净

强子 · 发表于 2012-4-16 10:20:53

WENJINGREN 发表于 2012-4-15 10:02
基地不干净

我手擦片放进去同时镀结果也是一样

shuangzixing · 发表于 2012-4-17 12:10:57

会不是是真空室不干净

niekai@ · 发表于 2012-4-17 14:26:22

兄弟啊这么简单的问题你吧会不知道吧这有两种情况一首先可以肯定你的TI3O5肯定有问题，氧气问题，二是你的基片处理有问题。总结你的膜料有问题你所碰到的问题是最常见的，俗称牛奶雾和黑子。好好弄一下你的膜料吧，你提到的温度也不太正常，你试一下把你的温度调到270 这样吸收和折射率都好点慢慢摸索一下吧

强子 · 发表于 2012-4-17 16:42:33

谢谢你的回复，H材料我更换了2个厂家的，L材料更换了3个厂家的，结果也是一样，充氧：为流量控制。从大流量到低流量均出现，不稳定，且在充氧不足的情况也也出现红点。L折射率材料充氧与否均出现。温度的话180是太低，折射率低了曲线肯定不好做，我是所有的该考虑的都考虑并验证了，总感觉有那个环节没抓住。我QQ：2860598589

强子 · 发表于 2012-4-17 16:43:01

niekai@ 发表于 2012-4-17 14:26
兄弟啊这么简单的问题你吧会不知道吧这有两种情况一首先可以肯定你的TI3O5肯定有问题，氧气问题， ...

谢谢你的回复，H材料我更换了2个厂家的，L材料更换了3个厂家的，结果也是一样，充氧：为流量控制。从大流量到低流量均出现，不稳定，且在充氧不足的情况也也出现红点。L折射率材料充氧与否均出现。温度的话180是太低，折射率低了曲线肯定不好做，我是所有的该考虑的都考虑并验证了，总感觉有那个环节没抓住。我QQ：2860598589

强子 · 发表于 2012-4-17 16:49:08

shuangzixing 发表于 2012-4-17 12:10
会不是是真空室不干净

谢谢，彻底清洗机器内部及高阀、冷井同样出现。

xiao2011 · 发表于 2012-4-17 19:40:09

tfc · 发表于 2012-4-18 07:54:43

查下漏率，大门关闭时密封情况，膜料预熔，有没有离子源？

强子 · 发表于 2012-4-18 09:08:46

tfc 发表于 2012-4-18 07:54
查下漏率，大门关闭时密封情况，膜料预熔，有没有离子源？

查漏率没问题，没有离子源，二次电子也已排除，经常出现在外圈，怀疑与材料有关系，现在正在更换材料确认

tfc · 发表于 2012-4-18 13:48:10

温度调280°(——实际温度，不是显示温度），氧气恒到2.5X10-2帕镀TI2O3看看，是国产的料？

[讨论] 急！急！急！有关发雾

浏览过的版块