急！急！急！有关发雾

如图，最近生产的产品表面不够透亮，有发雾现象，在显微镜下看有层一层密集的小红点，出现此现象后我将温度从250（实测）调整到现在的180，O2也下调到现在的极致（再调就会发黑），但实际还是不稳定，时有发雾现象。镀膜材料为TI3O5和SIO2，速率为2.5和6.请各位同行帮我分析一下看是哪个环节没做好。

基地不干净

WENJINGREN 发表于 2012-4-15 10:02
基地不干净

我手擦片放进去同时镀结果也是一样

会不是是真空室不干净

兄弟啊  这么简单的问题你吧会不知道吧   这有两种情况  一  首先可以肯定你的TI3O5肯定有问题，氧气问题，二 是你的基片处理有问题。总结你的膜料有问题   你所碰到的问题是最常见的，俗称牛奶雾和黑子。好好弄一下你的膜料吧，你提到的温度也不太正常，你试一下把你的温度调到270  这样吸收和折射率都好点  慢慢摸索一下吧  

谢谢你的回复，H材料我更换了2个厂家的，L材料更换了3个厂家的，结果也是一样，充氧：为流量控制。从大流量到低流量均出现，不稳定，且在充氧不足的情况也也出现红点。L折射率材料充氧与否均出现。温度的话180是太低，折射率低了曲线肯定不好做，我是所有的该考虑的都考虑并验证了，总感觉有那个环节没抓住。我QQ：2860598589

niekai@ 发表于 2012-4-17 14:26
兄弟啊  这么简单的问题你吧会不知道吧   这有两种情况  一  首先可以肯定你的TI3O5肯定有问题，氧气问题， ...

谢谢你的回复，H材料我更换了2个厂家的，L材料更换了3个厂家的，结果也是一样，充氧：为流量控制。从大流量到低流量均出现，不稳定，且在充氧不足的情况也也出现红点。L折射率材料充氧与否均出现。温度的话180是太低，折射率低了曲线肯定不好做，我是所有的该考虑的都考虑并验证了，总感觉有那个环节没抓住。我QQ：2860598589

shuangzixing 发表于 2012-4-17 12:10
会不是是真空室不干净

谢谢，彻底清洗机器内部及高阀、冷井同样出现。

查下漏率，大门关闭时密封情况，膜料预熔，有没有离子源？

tfc 发表于 2012-4-18 07:54
查下漏率，大门关闭时密封情况，膜料预熔，有没有离子源？

查漏率没问题，没有离子源，二次电子也已排除，经常出现在外圈，怀疑与材料有关系，现在正在更换材料确认

温度调280°(——实际温度，不是显示温度），氧气恒到2.5X10-2帕镀TI2O3看看，是国产的料？