求一个sqc310控制12位坩埚的方案

LILISRLHJ · 发表于 2012-6-17 11:13:18

如题’谢谢

LILISRLHJ · 发表于 2012-6-18 19:12:19

看来这个不花钱是没人肯指点那

cxtwo · 发表于 2012-6-18 21:36:19

坩埚控制器有什么接口？
//坛子里镀膜砖家多一些，你找 inficon 帮你搞定岂不省事，或是设备厂商啊。

LILISRLHJ · 发表于 2012-6-18 21:56:17

找他们太贵，想自己搞

cxtwo · 发表于 2012-6-19 17:00:06

鄙视一下Inficon，占着xx不xx。

wazxq · 发表于 2012-6-19 21:17:28

现在大坩埚很多，哪位再用，贴出来。。。

LILISRLHJ · 发表于 2012-6-19 22:08:38

本帖最后由 LILISRLHJ 于 2012-6-19 22:10 编辑

我们公司买一台二手的昭和镀膜机，95年的，好多东西不能用那，后来自己买一台晶控改成手动可以镀膜，但感觉实在不方便。所以想改成那个像南光的半自动的，现在就差坩埚定位部分的那。参考inficon的说明书上面说最多控制八个位置，但我这的位置是12位的，买的时候选型没搞好现在麻烦事来哪，还请高人相助！！！

otxtc · 发表于 2012-6-20 14:02:09

晶控仪的设置应该与坩埚转动控制接口对应才行。
具体操作，Inficon不帮你弄，但电话指导总不过分吧。
你还可问问国内的那些设备厂。

LILISRLHJ · 发表于 2012-6-22 21:18:09

otxtc 发表于 2012-6-20 14:02
晶控仪的设置应该与坩埚转动控制接口对应才行。
具体操作，Inficon不帮你弄，但电话指导总不过分吧。
你还 ...

谢谢！！打电话问过北京inficon的工程师，说是可以控制16位的坩埚，不过是二进制编码的，我现在机器是omron的plc，之前接入plc使用的bcd8421编码，现在问题点找到，要解决的就是一个编码转换的问题那，查到一个ic可以用来转换，基本可以解决问题那！！

otxtc · 发表于 2012-6-24 20:23:54

LILISRLHJ 发表于 2012-6-22 21:18
谢谢！！打电话问过北京inficon的工程师，说是可以控制16位的坩埚，不过是二进制编码的，我现在机器是omr ...

Inficon的说明书不容易懂，什么二进制，BCD有点混淆。//单片机中学到的BCD不完全这样的。
建议可先搞出来个真值表之类的表格，然后两方确认。
//搞出来后，分享一下?

LILISRLHJ · 发表于 2012-6-24 21:48:18

好的，过几天去买电子原件，搞好大家交流哈！！

MorningTech · 发表于 2015-5-3 10:13:09

上海膜林科技有限公司, 专业晶控仪厂家.
晶控仪精度高,稳定性好,可支持32位坩埚.

[技术] 求一个sqc310控制12位坩埚的方案

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