测量平行表面面形，不对后表面进行处理

nancy-y

对于平行度非常好的平面元件、或两个平面，如何单独地测量出其中一个平面的面形？
    由于平行度比较好，如果直接使用干涉仪测量，一般会看到两套条纹，一套是被测表面的面形条纹，一套是前后表面自相干的条纹（如图1左）。为了消除自相干条纹的影响，一般都是对后表面做些处理，比如涂凡士林、橡皮泥或淋乙醇等；这样才能消除或抑制后表面对前表面的干涉。但是对于某些特殊材料，采用这类手段或造成表面污染，或改变表面的状态，因而不适用。因此需要采用其它方法来消除平行表面间的条纹干扰。



我们使用的是美国4D技术公司 的FizCam2000型干涉仪，FizCam2000动态干涉仪采用短相干光源，通过调整其延迟光路，可以实现定位干涉，换而言之，这种干涉仪可以选定被测表面对其进行测量。其光源相干长度约300um, 对于厚度大于0.3mm的平行平板，都可以避免前后表面的干涉，进行有效地测量（如图1右）。
不仅如此，FizCam2000还可以透过前表面测量后表面，当然，这种测量结果中也包含了前表面的面形误差和材料的不均匀性。

图2是个平行薄片的测量图



图2 右侧是Fizcam2000的输出瞳，镜头为标准平面镜；中间为状态调整架上的平面薄片，可以看到薄片上有做标记的文字；左侧为装在夹具上的标准反射镜


在测量时，可以看到有两个反射信号分别代表样品前后表面的反射（图3）



图3平行薄片前后两个表面的反射，移动红色标线，就可选择干涉面
前表面的面形（图4）和透过前表面测得的后表面面形（图5）。图5中间可以隐约看到标记文字的印痕。

图4

maray

wang739006563

这台干涉仪的价格约在多少钱？国内那公司代理的？

黎枫DUTer

看看，学习。，不错啊，讲得很全面。。。。。。。。。。。。。。。。。。

阿明

这是一经常性的问题！很好的解决方式！原始的检测方式，就不存在这个问题！

kevin520130

不错，分析的很好，受教了

qbf

maomao1112